| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-17 | —— |
| T/IAWBS 002-2017 | 碳化硅外延片表面缺陷测试方法 | 现行 | 2017-12-31 | —— |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| YS/T 14-2015 | 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11471-2014 | 发光二极管外延片测试方法 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| SJ/T 11470-2014 | 发光二极管外延片 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 30856-2014 | LED外延芯片用砷化镓衬底 | 废止 | 2015-04-01 | 找相似 |
| JB/T 5631-1991 | 半导体器件外延炉能耗分等 | 废止 | 1992-07-01 | 找相似 |
| YS/T 24-1992 | 外延钉缺陷的检验方法 | 废止 | 1993-01-01 | 找相似 |
| YS/T 14-1991 | 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法 | 废止 | 1992-06-01 | 找相似 |
| DB13/T 5118-2019 | 4H 碳化硅 N 型同质外延片通用技术要求 [河北省] | 废止 | 2019-12-28 | 找相似 |
| GB/T 47901-2026 | 激光器外延芯片用砷化镓衬底 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| GB/T 14142-1993 | 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法 | 废止 | 1993-10-01 | 找相似 |
| GB/T 14139-2009 | 硅外延片 | 废止 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 47917-2026 | 300mm硅外延片 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| T/CASAS 003-2018 | p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片 | 现行 | 2018-11-20 | —— |
| T/CASAS 004.1-2018 | 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语 | 现行 | 2018-11-20 | —— |
| T/CASAS 004.2-2018 | 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱 | 现行 | 2018-11-20 | —— |