硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

GB/T 28275-2012推荐性国家标准

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GB/T 28275-2012 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 8297-2008浓缩天然胶乳 氢氧化钾(KOH)值的测定废止2008-05-152008-11-01
GB/T 1919-2014工业氢氧化钾废止2014-07-082014-12-01
GB/T 8297-2017浓缩天然胶乳 氢氧化钾(KOH)值的测定废止2017-12-292018-07-01
GB/T 8297-2023浓缩天然胶乳 氢氧化钾(KOH)值的测定现行2023-09-072024-04-01
HG/T 3688-2025高品质片状氢氧化钾现行2025-12-172026-07-01
HG/T 6316-2024电池用氢氧化钾现行2024-10-242025-05-01
HG/T 6546-2026电子工业用氢氧化钾溶液即将实施2026-07-152027-02-01
GB/T 28276-2012硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范现行2012-05-112012-12-01
GB/T 32814-2016硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范现行2016-08-292017-03-01
GB/T 28274-2012硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则现行2012-05-112012-12-01
GB/T 32815-2016硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范现行2016-08-292017-03-01
GB/T 32816-2016硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范现行2016-08-292017-03-01
GB/T 28277-2012硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法现行2012-05-112012-12-01
T/COS 014-2023二氧化硅基气凝胶灭火剂现行2023-04-102023-04-10
GB/T 47073-2026表面化学分析 深度剖析 中能离子散射术对硅基底上纳米尺度重金属氧化物薄膜的无损深度剖析即将实施2026-01-282026-08-01
NB/T 11223-2023硅基薄膜异质结光伏组件技术要求现行2023-05-262023-11-26
GB/T 42897-2023微机电系统(MEMS)技术硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法现行2023-08-062023-12-01
GB/T 42895-2023微机电系统(MEMS)技术硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法现行2023-08-062023-12-01