微机电系统(MEMS)技术 术语

Micro-electromechanical system technology—Terms

GB/T 26111-2023推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 26112-2010微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则现行2011-01-102011-10-01
GB/T 42158-2023微机电系统(MEMS)技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法现行2023-03-172023-07-01
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GB/T 42597-2023微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪现行2023-05-232023-09-01
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GB/T 44919-2024微机电系统(MEMS)技术 薄膜力学性能的鼓胀试验方法现行2024-11-282024-11-28
GB/T 44517-2024微机电系统(MEMS)技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法现行2024-09-292025-04-01
GB/T 44839-2024微机电系统(MEMS)技术 MEMS材料微柱压缩试验方法现行2024-10-262025-02-01
GB/T 44529-2024微机电系统(MEMS)技术 射频MEMS环行器和隔离器现行2024-09-292024-09-29
GB/T 44842-2024微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法现行2024-10-262024-10-26
GB/T 42897-2023微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法现行2023-08-062023-12-01
GB/T 25365.1-2010柴油机电控共轨喷油系统总成 技术条件 第1部分:机械现行2010-11-102011-03-01
MT/T 758-1997煤矿带式输送机电气式自动喷水灭火系统通用技术条件现行1997-12-301998-06-01
GB/T 40580-2021高压直流输电系统机电暂态仿真建模技术导则现行2021-10-112022-05-01
GB/T 21427-2025特殊环境条件 干热沙漠对内燃机电站系统的技术要求及试验方法即将实施2025-12-312026-07-01