微机电系统(MEMS)技术 术语

Micro-electromechanical system technology—Terms

GB/T 26111-2023推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 44514-2024微机电系统(MEMS)技术 层状MEMS材料界面黏附能四点弯曲试验方法现行2024-09-292024-09-29
GB/T 34893-2017微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法现行2017-11-012018-05-01
DB45/T 2896-2024高速公路隧道机电系统技术规范现行2024-09-302024-12-01
SL 615-2013水轮机电液调节系统及装置基本技术规程现行2013-09-062013-12-06
JB/T 11727-2013数控木(梳齿)榫开榫机电气控制系统技术条件现行2013-12-312014-07-01
DB23/T 3705-2024高速公路机电系统建设技术规范现行2024-06-132024-07-12
GB/T 34899-2017微机电系统(MEMS)技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法现行2017-11-012018-05-01
DB36/T 743.3-2021高速公路机电系统维护技术规范 第 3 部分:通信系统现行2021-09-032022-03-01
GB/T 34894-2017微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法现行2017-11-012018-05-01
DB12/T 1346-2024高速公路机电系统运维技术要求现行2024-08-092024-09-10
GB/T 34900-2017微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法现行2017-11-012018-05-01
GB/T 38447-2020微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法现行2020-03-062020-07-01
GB/T 42895-2023微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法现行2023-08-062023-12-01
GB/T 38341-2019微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法现行2019-12-312020-04-01
GB/T 37048-2018高速公路机电系统防雷技术规范现行2018-12-282019-07-01
GB/T 44531-2024微机电系统(MEMS)技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范现行2024-09-292024-09-29
GB/T 42896-2023微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法现行2023-08-062023-12-01
T/CPSI 01103-2024钻机电控系统再制造升级技术规范现行2024-04-022024-06-01