三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求

Three dimensional integrated circuits—Part 2:Alignment of stacked dies having fine pitch interconnect

GB/T 43536.2-2023推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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