Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CMA HG020-2020 | 轮胎试验路面平整度测量方法 —3米直尺法 | 现行 | 2020-02-27 | 2020-03-01 |
| T/CMA HG018-2020 | 轮胎试验路面平整度测量方法 —连续式平整度仪法 | 现行 | 2020-02-27 | 2020-03-01 |
| T/CHEAA 0010-2019 | 织物外观平整度测定-图像分析法 | 现行 | 2019-11-19 | 2019-11-19 |
| T/CHEAA 0010-2019 | 织物外观平整度测定-图像分析法 | 现行 | 2019-11-19 | 2019-11-19 |
| GB/T 47614-2026 | 建筑用绝热制品 平整度的测定 | 即将实施 | 2026-05-25 | 2026-12-01 |
| GB/T 40279-2021 | 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB/T 11073-2007 | 硅片径向电阻率变化的测量方法 | 废止 | 2007-09-11 | 2008-02-01 |
| GB/T 11073-2025 | 硅片径向电阻率变化测量方法 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| GB/T 30857-2014 | 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 30867-2014 | 碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-02-01 |
| GB/T 20016-2005 | 金属和其它无机覆盖层 不锈钢部件平整和钝化的电抛光法 | 现行 | 2005-10-12 | 2006-04-01 |
| LY/T 2402-2014 | 园林机械 悬挂式草坪松土平整机 | 现行 | 2014-08-21 | 2014-12-01 |
| DB13/T 2879-2018 | 深松旋耕平整多功能联合作业机生产技术规范 | 现行 | 2018-12-13 | 2018-12-31 |
| DB61/T 991.2-2015 | 土地整治高标准农田建设第2部分：土地平整 | 废止 | 2015-11-24 | 2016-01-01 |
| T/HBCIA 043-2025 | 露地甘蓝无人化平整地作业技术规程 | 现行 | 2025-04-22 | 2025-04-22 |
| T/UNP 262-2024 | 压实平整设备技术规范 | 现行 | 2024-11-14 | 2024-11-14 |
| T/CIDA 0002-2020 | 农田土地平整技术应用规程 | 现行 | 2020-08-24 | 2020-10-01 |
| T/CHSA 085-2024 | 牙周龈下刮治和根面平整术操作规范 | 现行 | 2024-11-29 | 2024-12-29 |