Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/HNTS 0007-2021 | 敞顶式集装箱平整装置 | 现行 | 2021-12-15 | 2021-12-20 |
| T/NTRPTA 0027-2020 | 优质食味水稻田机械平整技术规程 | 现行 | 2020-08-20 | 2020-09-20 |
| YB/T 6302-2024 | 轧机和平整机辊缝调节伺服液压缸试验方法 | 现行 | 2024-10-24 | 2025-05-01 |
| JB/T 14909-2024 | 热轧带钢四辊平整机 技术规范 | 现行 | 2024-07-05 | 2025-01-01 |
| GB/T 26067-2010 | 硅片切口尺寸测试方法 | 现行 | 2011-01-10 | 2011-10-01 |
| GB/T 32280-2022 | 硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 6620-2009 | 硅片翘曲度非接触式测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 13388-2009 | 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 6619-2009 | 硅片弯曲度测试方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 26068-2018 | 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-11-01 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 30860-2014 | 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 42907-2023 | 硅锭、硅块和硅片中非平衡载流子复合寿命的测试 非接触涡流感应法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| GB/T 30859-2014 | 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法 | 现行 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 19444-2025 | 硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法 | 现行 | 2025-06-30 | 2026-01-01 |
| GB/T 42789-2023 | 硅片表面光泽度的测试方法（外文版EN） | 现行 | 2024-04-12 | |
| SJ/T 11628-2016 | 太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |
| SJ/T 11627-2016 | 太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法 | 现行 | 2016-04-05 | 2016-09-01 |