HG/T 6465-2026 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-27
标准号标准名称状态实施日期相似标准
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T/ZJATA 0017-2023制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备现行2023-07-20——
GB/T 43612-2023碳化硅晶体材料缺陷图谱现行2024-07-01找相似
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GB/T 16555-2017含碳、碳化硅、氮化物耐火材料化学分析方法废止2018-08-01找相似
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GB/T 37254-2018高纯碳化硅 微量元素的测定现行2019-09-01找相似
GB/T 34520.1-2017连续碳化硅纤维测试方法 第1部分:束丝上浆率现行2018-05-01找相似
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GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法现行2022-07-01找相似
GB/T 43760-2024低氧高碳型连续碳化硅纤维现行2024-07-01找相似
GB/T 42905-2023碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法现行2024-03-01找相似
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GB/T 21944.4-2022碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第4部分:烧嘴套现行2023-02-01找相似
GB/T 43493.1-2023半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分:缺陷分类现行2024-07-01找相似