碳化硅晶体材料缺陷图谱

Collection of metallographs on defects in silicon carbide crystal materials

GB/T 43612-2023推荐性国家标准

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GB/T 43612-2023 相似标准 第1页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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T/CASAS 004.2-20184H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱现行2018-11-202018-11-20
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GB/T 43493.3-2023半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分:缺陷的光致发光检测方法现行2023-12-282024-07-01
GB/T 42902-2023碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法现行2023-08-062024-03-01
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T/CASAS 004.1-20184H碳化硅衬底及外延层缺陷术语现行2018-11-202018-11-20
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