| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 893-2013 | 电子薄膜用高纯钛溅射靶材 | 现行 | 2014-03-01 | 找相似 |
| T/ZZB 0093-2016 | 集成电路用高纯钛溅射靶材 | 现行 | —— | —— |
| YS/T 1727-2025 | 高纯钛溅射环 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| YB/T 6142-2023 | 高纯钛铁 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| YS/T 1236-2018 | 超高纯钛锭 | 现行 | 2018-09-01 | 找相似 |
| HG/T 3587-2009 | 电子工业用高纯钛酸钡 | 废止 | 2010-06-01 | 找相似 |
| YS/T 891-2013 | 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 | 废止 | 2014-03-01 | 找相似 |
| YS/T 892-2013 | 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 废止 | 2014-03-01 | 找相似 |
| HG/T 3587-1999 | 电子工业用高纯钛酸钡 | 废止 | 2000-04-01 | 找相似 |
| DB15/T 887-2015 | 高纯钛酸锶中锶钛含量的分析方法 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |
| DB52/T 795-2013 | 电子级高纯钛 | 废止 | 2013-02-05 | 找相似 |
| YS/T 1811-2025 | 高纯钛铝合金靶材 | 现行 | 2026-03-01 | 找相似 |
| YS/T 892-2024 | 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2025-05-01 | 找相似 |
| YS/T 891-2024 | 高纯钛化学分析方法 痕量元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2025-05-01 | 找相似 |
| HG/T 3587-2023 | 电子工业用高纯钛酸钡 | 现行 | 2024-07-01 | —— |
| YS/T 935-2013 | 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南 | 现行 | 2014-03-01 | 找相似 |
| YS/T 819-2012 | 电子薄膜用高纯铜溅射靶材 | 现行 | 2013-03-01 | 找相似 |
| GB/T 29658-2013 | 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材 | 现行 | 2014-05-01 | 找相似 |