| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 1060-2015 | 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| YS/T 1059-2015 | 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| YS/T 15-2015 | 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11470-2014 | 发光二极管外延片 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 30856-2014 | LED外延芯片用砷化镓衬底 | 废止 | 2015-04-01 | 找相似 |
| JB/T 5631-1991 | 半导体器件外延炉能耗分等 | 废止 | 1992-07-01 | 找相似 |
| YS/T 23-1992 | 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法 | 废止 | 1993-01-01 | 找相似 |
| YS/T 15-1991 | 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法 | 废止 | 1992-06-01 | 找相似 |
| DB13/T 5118-2019 | 4H 碳化硅 N 型同质外延片通用技术要求 [河北省] | 废止 | 2019-12-28 | 找相似 |
| GB/T 47901-2026 | 激光器外延芯片用砷化镓衬底 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| GB/T 14139-2009 | 硅外延片 | 废止 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 14146-2009 | 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 | 废止 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 30652-2014 | 硅外延用三氯氢硅 | 废止 | 2015-09-01 | 找相似 |
| GB/T 47917-2026 | 300mm硅外延片 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| T/CASAS 003-2018 | p沟道IGBT器件用4H碳化硅外延晶片 | 现行 | 2018-11-20 | —— |
| T/IAWBS 003-2017 | 碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法 | 现行 | 2017-12-31 | —— |
| YS/T 1745-2025 | 分子束外延（MBE）用高纯铝源 | 现行 | 2025-11-01 | 找相似 |
| T/CNIA 0061-2020 | 硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-08-01 | —— |