| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
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| YS/T 1059-2015 | 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定气相色谱法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 29056-2012 | 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 废止 | 2013-10-01 | 找相似 |
| GB/T 29056-2025 | 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 即将实施 | 2026-05-01 | 找相似 |
| GB/T 30652-2023 | 硅外延用三氯氢硅 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
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| GB/T 28654-2012 | 工业三氯氢硅 | 废止 | 2013-06-01 | 找相似 |
| DB53/T 499-2013 | 多晶硅用三氯氢硅 | 废止 | 2013-10-01 | 找相似 |
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| HG/T 4658-2014 | 纺织染整助剂 含氢硅油中活泼氢含量的测定 | 现行 | 2014-10-01 | 找相似 |
| GB/T 36646-2018 | 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 | 现行 | 2019-01-01 | 找相似 |
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