Directives for drafting semiconductor facilities interface specification
现行
1995-12-22
1996-08-01
GB/T 15873-1995
工业和信息化部（电子）
工业和信息化部（电子）
该标准采用国际标准
L97
31.220.10
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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