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磁控溅射设备通用技术条件

SJ/T 10478-1994SJ电子

现行

更新日期：2026-03-08
磁控溅射设备

标准状态

发布日期

1994-04-11

实施日期

1994-10-01

基础信息

标准号

SJ/T 10478-1994

批准发布部门

电子工业部

制修订

制定

标准分类

标准类别

无

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

0062-1994

备案日期

2014-12-26

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