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碳化硅单晶位错密度的测试方法

Test method for dislocation density of monocrystalline silicon carbide

GB/T 41765-2022推荐性国家标准

现行

上传时间：2026-03-14
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GB/T 41765-2022 相似标准 第1页

标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 41765-2022碳化硅单晶位错密度的测试方法现行2022-10-142023-05-01
T/IAWBS 014-2021碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法现行2021-09-152021-09-22
T/CASAS 013-2021碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法现行2021-11-012021-12-01
GB/T 5252-2020锗单晶位错密度的测试方法现行2020-06-022021-05-01
GB/T 8760-2020砷化镓单晶位错密度的测试方法现行2020-09-292021-08-01
GB/T 47080-2026金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法即将实施2026-01-282026-08-01
GB/T 30868-2025碳化硅单晶片微管密度测试方法现行2025-08-012026-02-01
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GB/T 32282-2015氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法现行2015-12-102016-11-01
GB/T 33763-2017蓝宝石单晶位错密度测量方法现行2017-05-312017-12-01
GB/T 34481-2017低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法现行2017-10-142018-07-01
GB/T 8760-2006砷化镓单晶位错密度的测量方法废止2006-07-182006-11-01
GB/T 5252-2006锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法废止2006-07-182006-11-01
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法现行2019-12-272019-12-31
GB/T 31351-2014碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法废止2014-12-312015-09-01
GB/T 30868-2014碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法废止2014-07-242015-02-01
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法现行2019-12-272019-12-31