用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

GB/T 16878-1997推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 16465-1996膜集成电路和混合膜集成电路分规范(采用能力批准程序)现行1996-07-091997-01-01
GB/T 16464-1996半导体器件 集成电路 第1部分:总则现行1996-07-091997-01-01
GB/T 16466-1996膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用能力批准程序)现行1996-07-091997-01-01
GB/T 14862-1993半导体集成电路封装结到外壳热阻测试方法现行1993-12-301994-10-01
GB/T 43536.1-2023三维集成电路 第1部分:术语和定义现行2023-12-282024-04-01
GB/T 43536.2-2023三维集成电路 第2部分:微间距叠层芯片的校准要求现行2023-12-282024-04-01
GB/T 42968.8-2023集成电路 电磁抗扰度测量 第8部分:辐射抗扰度测量 IC带状线法现行2023-09-072024-01-01
GB/T 20870.2-2023半导体器件 第16-2部分:微波集成电路 预分频器现行2023-09-072023-09-07
GB/T 20870.5-2023半导体器件 第16-5部分:微波集成电路 振荡器现行2023-09-072024-01-01
GB/T 42968.1-2023集成电路 电磁抗扰度测量 第1部分:通用条件和定义现行2023-09-072024-01-01
GB/T 17574-1998半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路现行1998-11-171999-06-01
GB/T 17573-1998半导体器件 分立器件和集成电路 第1部分:总则现行1998-11-171999-06-01
GB/T 8976-1996膜集成电路和混合膜集成电路总规范现行1996-07-091997-01-01
GB/T 9424-1998半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路 第五篇 CMOS数字集成电路4000B和4000UB系列空白详细规范现行1998-11-171999-06-01
GB/T 17572-1998半导体器件 集成电路 第2部分:数字集成电路 第四篇 CMOS数字集成电路 4000B和4000UB系列族规范现行1998-11-171999-06-01
GB/T 14030-1992半导体集成电路时基电路测试方法的基本原理现行1992-12-171993-08-01
GB/T 42836-2023微波半导体集成电路 混频器现行2023-08-062023-12-01
GB/T 42970-2023半导体集成电路 视频编解码电路测试方法现行2023-09-072024-01-01