Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 12964-2018 | 硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-09-17 | 2019-06-01 |
| GB/T 35305-2017 | 太阳能电池用砷化镓单晶抛光片 | 废止 | 2017-12-29 | 2018-07-01 |
| GB/T 4058-2009 | 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 30858-2014 | 蓝宝石单晶衬底抛光片 | 废止 | 2014-07-24 | 2015-04-01 |
| GB/T 47097-2026 | 氮化铝单晶抛光片 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 47080-2026 | 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 41325-2022 | 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 | 现行 | 2022-03-09 | 2022-10-01 |
| GB/T 35305-2026 | 太阳能电池用砷化镓单晶及抛光片 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| GB/T 29506-2013 | 300mm 硅单晶抛光片 | 现行 | 2013-05-09 | 2014-02-01 |
| GB/T 30858-2025 | 蓝宝石单晶衬底抛光片 | 即将实施 | 2025-10-31 | 2026-05-01 |
| T/NXCL 29-2024 | 300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2024-02-06 | 2024-02-06 |
| T/NXCL 017-2022 | 300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2022-12-02 | 2022-12-02 |
| T/NXCL 016-2022 | 200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2022-12-02 | 2022-12-02 |
| T/ZZB 2332-2021 | 发光二极管用蓝宝石衬底抛光片 | 现行 | 2021-08-30 | 2021-09-30 |
| T/ZZB 0648-2018 | 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-10-19 | 2018-11-01 |
| SJ/T 11489-2015 | 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11505-2015 | 蓝宝石单晶抛光片规范 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11490-2015 | 低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |