Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 47902-2026 | 金刚石单晶抛光片 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| GB/T 12964-2003 | 硅单晶抛光片 | 废止 | 2003-06-16 | 2004-01-01 |
| DB12/T 101.253-2003 | 工业产品取水定额 砷化镓抛光片 | 废止 | 2003-09-03 | 2003-09-03 |
| T/ZZB 0648-2018 | 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-10-19 | 2018-11-01 |
| T/CASAS 054-2025 | 氮化铝抛光片吸收系数测试方法 | 现行 | 2025-05-20 | 2025-05-20 |
| T/CASAS 053-2025 | 氮化铝抛光片位错密度的测试 腐蚀坑法 | 现行 | 2025-05-20 | 2025-05-20 |
| GB/T 42902-2023 | 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| T/CASAS 032-2023 | 碳化硅晶片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2023-06-19 | 2023-06-19 |
| T/IAWBS 002-2017 | 碳化硅外延片表面缺陷测试方法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| T/IAWBS 002-2017 | 碳化硅外延片表面缺陷测试方法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| HG/T 4079-2009 | 金属抛光表面质量检测及评判规则 | 现行 | 2009-02-05 | 2009-07-01 |
| GB/T 43612-2023 | 碳化硅晶体材料缺陷图谱 | 现行 | 2023-12-28 | 2024-07-01 |
| GB/T 34520.9-2021 | 连续碳化硅纤维测试方法 第9部分：碳含量 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| GB/T 16555-2017 | 含碳、碳化硅、氮化物耐火材料化学分析方法 | 废止 | 2017-09-07 | 2018-08-01 |
| SN/T 1039-2020 | 进出口吨包装碳化硅取样制样方法 | 现行 | 2020-08-27 | 2021-03-01 |
| SN/T 5683-2024 | 硅铁和硅渣混合物中硅、硅铁（FeSi2）、α-碳化硅的定量相分析 X射线衍射K值法 | 现行 | 2024-12-31 | 2025-07-01 |
| GB/T 34520.2-2017 | 连续碳化硅纤维测试方法 第2部分：单纤维直径 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 37254-2018 | 高纯碳化硅 微量元素的测定 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-09-01 |