| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 42709.35-2026 | 半导体器件 微电子机械器件 第35部分：柔性MEMS器件弯曲形变下的电特性测试方法 | 即将实施 | 2026-07-30 | 2027-02-01 |
| GB/T 32279-2015 | 硅片订货单格式输入规范 | 现行 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| GB/T 24577-2009 | 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 34479-2017 | 硅片字母数字标志规范 | 现行 | 2017-10-14 | 2018-07-01 |
| GB/T 32814-2016 | 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 | 现行 | 2016-08-29 | 2017-03-01 |
| GB/T 6617-2009 | 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| YB/T 4397-2014 | 切割硅片用电镀黄铜钢丝 | 现行 | 2014-05-06 | 2014-10-01 |
| JC/T 2065-2011 | 太阳能电池硅片用石英舟 | 现行 | 2011-12-20 | 2012-07-01 |
| JC/T 2066-2011 | 太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管 | 现行 | 2011-12-20 | 2012-07-01 |
| GB/T 43315-2023 | 硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法 | 现行 | 2023-11-27 | 2024-06-01 |
| DB31/T 792-2026 | 硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额 | 现行 | 2026-02-14 | 2026-06-01 |
| GB/T 40110-2021 | 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| DB13/T 1314-2010 | 太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片 | 现行 | 2010-11-15 | 2010-11-25 |
| DB31/ 792-2020 | 硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额 | 有更新版 | 2020-03-25 | 2020-06-01 |
| GB/T 29055-2019 | 太阳能电池用多晶硅片 | 现行 | 2019-06-04 | 2020-05-01 |
| GB/T 39145-2020 | 硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2020-10-11 | 2021-09-01 |
| GB/T 32281-2015 | 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法 | 现行 | 2015-12-10 | 2017-01-01 |
| T/QGCML 2024-2023 | 掺镓硅片技术生产管理办法 | 现行 | 2023-11-03 | 2023-11-24 |