半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求

本文件规定了半导体超纯聚合物过流部件污染物检测方法及表面粗糙度技术要求、数据整理与检测报告等。本文件适用于超纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)等聚合物过流部件污染物及表面粗糙度检测。

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