| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| DB31/ 506-2020 | 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额 | 现行 | 2020-12-01 | 找相似 |
| T/CESA 1081-2020 | 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求 | 现行 | 2020-06-20 | —— |
| T/CESA 1081-2020 | 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求 | 现行 | 2020-06-20 | —— |
| DB31/ 506-2010 | 集成电路晶圆制造能耗限额 | 有更新版 | 2011-02-01 | 找相似 |
| T/SICA 006-2024 | 集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求 | 现行 | 2024-07-07 | —— |
| DB31/ 738-2020 | 集成电路封装单位产品能源消耗限额 | 现行 | 2020-11-01 | 找相似 |
| DB12/ 046.87-2011 | 产品单位产量综合能耗计算方法及限额 第87部分： 集成电路 | 废止 | 2012-01-01 | 找相似 |
| DB12/ 046.87-2008 | 集成电路单位产量综合能耗计算方法及限额 | 有更新版 | 2008-03-01 | 找相似 |
| DB31/ 738-2013 | 集成电路封装单位产品能源消耗限额 | 有更新版 | 2013-12-01 | 找相似 |
| GB/T 40577-2021 | 集成电路制造设备术语 | 现行 | 2022-05-01 | 找相似 |
| DB11/T 2080-2023 | 建设项目环境影响评价技术指南 集成电路制造 | 废止 | 2023-07-01 | 找相似 |
| GB/T 16878-1997 | 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 | 现行 | 1998-03-01 | 找相似 |
| DB11/T 1544-2018 | 清洁生产评价指标体系 集成电路制造业 | 废止 | 2018-10-01 | 找相似 |
| T/SICA 001-2020 | 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸 | 现行 | 2020-06-01 | —— |
| DB3202/T 1033-2022 | 硅集成电路芯片制造企业职业病危害预防控制技术规范 | 废止 | 2022-07-27 | 找相似 |
| T/SICA 001-2020 | 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸 | 现行 | 2020-06-01 | —— |
| T/HFSIA 001-2019 | 《集成电路封装绿色制造关键工艺系统集成》 | 现行 | 2019-11-30 | —— |
| SJ/T 12024-2025 | 半导体设备 集成电路制造 用离子注入机测试方法 | 现行 | 2026-03-01 | 找相似 |