半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing - Wafer

T/CESA 1081-2020 制造业

现行

标准状态

发布日期

2020-06-20

实施日期

2020-06-20

基础信息

标准号

T/CESA 1081-2020

团体名称

中国电子工业标准化技术协会

包含专利

标准分类

国际标准分类号

13.020.01 环境和环境保护综合

行业分类

C397 电子器件制造

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价(以下简称“评价”)的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价,其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。

起草单位

中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造(北京)有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气(中国)有限公司上海分公司

起草人

李胡升、马传辉、洪洋、杨檬、杨宇涛、阳平、宋英华、闻洪春、赵立华、刘果果、黄明燕、赵丽华

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