钛白粉用集成电路制造行业废硫酸

Waste sulfuric acid in titanium dioxide manufacturing industry

T/SICA 001-2020水利、环境和公共设施管理业

现行

标准状态

发布日期

2020-04-29

实施日期

2020-06-01

基础信息

标准号

T/SICA 001-2020

团体名称

上海市集成电路行业协会

包含专利

标准分类

中国标准分类号

Z00

国际标准分类号

13.030.99 有关废物的其他标准

行业分类

N772 环境治理业

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准规定了在用硫酸法工艺生产钛白粉时,采用集成电路制造行业废硫酸的要求,主要技术指标为 ,硫酸(H2SO4)≥60W/ %;过氧化氢(H2O2)≤0.5W/ %;铁(Fe)≤0.002W/ %;透明度≥100/mm;色度,深于标准色度;灰分≤0.01 W/ %;砷(As)≤ 0.001W/ %;铅(Pb)≤0.02 W/ %。

起草单位

上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电(中国)有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司

起草人

徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆

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