Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/CI 311-2024 | 风力发电机组高强钢塔架焊接附属件结构疲劳性能评价方法 | 现行 | 2024-03-28 | 2024-03-28 |
| GB/T 42709.12-2026 | 半导体器件 微电子机械器件 第12部分：采用MEMS结构谐振法的薄膜材料弯曲疲劳试验方法 | 即将实施 | 2026-07-30 | 2027-02-01 |
| DB32/T 4451.9-2023 | 医用影像设备临床使用管理与质量控制规范 第9部分：正电子发射磁共振成像系统(PETMR) | 现行 | 2023-02-06 | 2023-03-06 |
| T/ZMDS 10018-2023 | 支持放射治疗模拟定位功能的磁共振系统性能要求和试验方法 | 现行 | 2023-12-29 | 2023-12-29 |
| T/CAME 71.2-2024 | 医学影像装备临床使用评价指南 第2部分：正电子发射型磁共振成像系统（PET/MR） | 现行 | 2024-06-25 | 2024-06-25 |
| JJF 2151-2024 | 医用磁共振成像系统校准规范 | 现行 | 2024-09-18 | 2025-03-18 |
| T/CSBME 035-2021 | 磁共振成像系统可靠性设计规范 | 现行 | 2021-01-16 | 2021-03-01 |
| T/CSBME 035-2021 | 磁共振成像系统可靠性设计规范 | 现行 | 2021-01-16 | 2021-03-01 |
| GB/T 42158-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 | 现行 | 2023-03-17 | 2023-07-01 |
| GB/T 34893-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34899-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34894-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 34900-2017 | 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-05-01 |
| GB/T 42895-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 42896-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 | 现行 | 2023-08-06 | 2023-12-01 |
| GB/T 47725-2026 | 微机电系统（MEMS）技术 硅通孔三维结构可靠性评价要求 | 即将实施 | 2026-05-25 | 2026-12-01 |
| DB61/T 983-2015 | 旧水泥混凝土路面共振碎石化技术规范 | 废止 | 2015-09-28 | 2015-11-01 |
| YY/T 1840-2023 | 医用磁共振成像设备通用技术条件 | 现行 | 2023-01-13 | 2026-01-15 |