| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11185-1998 | 蒸发镀膜设备通用规范 | 现行 | 1998-05-01 | 找相似 |
| JB/T 6922-2015 | 真空蒸发镀膜设备 | 现行 | 2016-03-01 | 找相似 |
| SJ/T 11131-1997 | 蒸发镀膜设备基本参数系列 | 废止 | 1998-01-01 | 找相似 |
| JB/T 6922-1993 | 真空蒸发镀膜设备 | 废止 | 1994-07-01 | 找相似 |
| JB/T 6922-2004 | 真空蒸发镀膜设备 | 废止 | 2005-04-01 | 找相似 |
| JB/T 5576-1991 | 真空蒸发光学镀膜设备技术条件 | 现行 | 1992-07-01 | 找相似 |
| JB/T 5579-1991 | 真空蒸发制镜镀膜设备技术条件 | 现行 | 1992-07-01 | 找相似 |
| JB/T 5575-1991 | 真空蒸发光学镀膜设备技术条件 | 现行 | 1992-07-01 | 找相似 |
| GB/T 11164-2011 | 真空镀膜设备通用技术条件 | 现行 | 2012-03-01 | 找相似 |
| T/GVS 002-2021 | 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求 | 现行 | 2021-06-28 | —— |
| T/GVS 010-2022 | 真空卷绕镀膜设备通用技术要求 | 现行 | 2022-09-23 | —— |
| GB/T 11164-1999 | 真空镀膜设备通用技术条件 | 废止 | 1999-09-01 | 找相似 |
| T/GVS 001-2021 | 真空镀膜设备 电磁兼容 屏蔽与辐射安全技术规范 | 现行 | 2021-06-28 | —— |
| DB35/T 1874-2019 | 五氧化三钛镀膜材料通用技术条件 | 废止 | 2020-03-19 | 找相似 |
| JB/T 8945-2010 | 真空溅射镀膜设备 | 现行 | 2010-07-01 | 找相似 |
| JB/T 8946-2010 | 真空离子镀膜设备 | 现行 | 2010-07-01 | 找相似 |
| T/GVS 017-2024 | 连续式光学磁控溅射镀膜设备 | 现行 | 2024-12-24 | —— |
| T/QGCML 4176-2024 | 具有旋转机构连续镀膜设备 | 现行 | 2024-05-14 | —— |