| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
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| YS/T 837-2012 | 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 | 现行 | 2013-03-01 | 找相似 |
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| JB/T 4081-1991 | 溅射离子泵型式与基本参数 | 废止 | 1992-07-01 | 找相似 |
| JB/T 4082-1991 | 溅射离子泵技术条件 | 废止 | 1992-07-01 | 找相似 |
| JB/T 8945-1999 | 真空溅射镀膜设备 | 废止 | 2000-01-01 | 找相似 |
| GB/T 20175-2006 | 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 | 废止 | 2006-11-01 | 找相似 |