| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| JB/T 2965-1992 | 溅射离子泵性能测试方法 | 废止 | 1993-07-01 | 相似 |
| GB/T 25755-2010 | 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 | 现行 | 2011-10-01 | 相似 |
| GB/T 41064-2021 | 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法 | 现行 | 2022-07-01 | 相似 |
| JB/T 4081-2011 | 真空技术 溅射离子泵 | 现行 | 2012-04-01 | 相似 |
| T/CI 863-2024 | 硬质涂层的电弧/溅射复合离子镀设备技术条件 | 现行 | 2024-12-30 | —— |
| JB/T 4081-1991 | 溅射离子泵型式与基本参数 | 废止 | 1992-07-01 | 相似 |
| JB/T 4082-1991 | 溅射离子泵技术条件 | 废止 | 1992-07-01 | 相似 |
| YS/T 1124-2016 | 磁性溅射靶材透磁率测试方法 | 现行 | 2017-01-01 | 相似 |
| T/CIE 132-2022 | 磁控溅射设备薄膜精度测试方 | 现行 | 2022-08-10 | —— |
| GB/T 31227-2014 | 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法 | 现行 | 2015-04-15 | 相似 |
| YS/T 837-2012 | 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 | 现行 | 2013-03-01 | 相似 |
| GB/T 20175-2025 | 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 | 现行 | 2026-01-01 | 相似 |
| GB/T 20175-2006 | 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法 | 废止 | 2006-11-01 | 相似 |
| GB/T 29557-2013 | 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量 | 现行 | 2014-03-01 | 相似 |
| JB/T 8945-2010 | 真空溅射镀膜设备 | 现行 | 2010-07-01 | 相似 |
| YS/T 935-2013 | 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南 | 现行 | 2014-03-01 | 相似 |
| YS/T 893-2013 | 电子薄膜用高纯钛溅射靶材 | 现行 | 2014-03-01 | 相似 |
| YS/T 1358-2020 | 磁记录用铁钴钽合金溅射靶材 | 现行 | 2021-04-01 | 相似 |