Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

Test method for crystal quality of III-nitride epitaxial layers

GB/T 30653-2014推荐性国家标准

现行

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GB/T 30653-2014 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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GB/T 42902-2023碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法现行2023-08-062024-03-01
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T/IAWBS 002-2017碳化硅外延片表面缺陷测试方法现行2017-12-202017-12-31
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GB/T 47625-2026精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜(晶圆)结晶质量即将实施2026-05-252026-12-01
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