硅单晶抛光试验片规范

Specification for polished test silicon wafers

GB/T 26065-2010推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-11
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GB/T 26065-2010 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
DB51/T 3330-2025单晶硅单位产品能源消耗限额现行2025-12-232025-12-31
GB/T 29504-2013300mm 硅单晶现行2013-05-092014-02-01
GB/T 12965-2018硅单晶切割片和研磨片现行2018-09-172019-06-01
GB/T 32278-2025碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法现行2025-08-012026-02-01
DB31/T 792-2026硅单晶棒及单晶硅片单位产品能源消耗限额现行2026-02-142026-06-01
SJ/T 11864-2022半绝缘型碳化硅单晶衬底现行2022-10-202023-01-01
DB31/ 792-2020硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额有更新版2020-03-252020-06-01
GB/T 26071-2026太阳能电池用硅单晶及硅单晶片即将实施2026-01-282026-08-01
GB/T 25076-2018太阳能电池用硅单晶废止2018-09-172019-06-01
GB/T 10067.417-2023电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置现行2023-05-232023-12-01
GB/T 41765-2022碳化硅单晶位错密度的测试方法现行2022-10-142023-05-01
GB/T 30868-2025碳化硅单晶片微管密度测试方法现行2025-08-012026-02-01
GB/T 29508-2013300mm 硅单晶切割片和磨削片现行2013-05-092014-02-01
T/ZZB 2283-2021半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉现行2021-08-262021-09-26
T/NXCL 30-2024300 mm低氧含量直拉硅单晶现行2024-02-062024-02-06
T/CASAS 048-2025碳化硅单晶生长用等静压石墨现行2025-04-232025-04-23
T/CASAS 036-2025碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法现行2025-04-232025-04-23
T/ZZB 2675-2022TVS用硅单晶研磨片现行2022-04-132022-05-13