硅单晶抛光试验片规范

Specification for polished test silicon wafers

GB/T 26065-2010推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-11
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GB/T 26065-2010 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
GB/T 30656-2014碳化硅单晶抛光片废止2014-12-312015-09-01
T/IAWBS 010-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 012-2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法现行2019-12-272019-12-31
T/ZZB 0648-2018200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片现行2018-10-192018-11-01
T/IAWBS 005-20186 英寸碳化硅单晶抛光片现行2018-12-062018-12-17
T/CIET 1279-2025碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法(PVT)现行2025-05-142025-05-14
JJF 1760-2019硅单晶电阻率标准样片校准规范现行2019-09-272020-03-27
GB/T 35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法现行2023-08-062024-03-01
GB/T 26069-2022硅单晶退火片现行2022-03-092022-10-01
GB/T 12962-2015硅单晶现行2015-12-102017-01-01
GB/T 24581-2022硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法现行2022-03-092022-10-01
GB/T 42263-2022硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法现行2022-12-302023-04-01
GB/T 26071-2018太阳能电池用硅单晶片废止2018-09-172019-06-01
GB/T 1551-2021硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法现行2021-05-212021-12-01
GB/T 42271-2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法现行2022-12-302023-04-01
GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法现行2021-12-312022-07-01
GB/T 13389-2014掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程现行2014-12-312015-09-01
GB/T 24574-2009硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法现行2009-10-302010-06-01