硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers

GB/T 12964-2018推荐性国家标准

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GB/T 12964-2018 相似标准 第3页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/ZZB 2332-2021发光二极管用蓝宝石衬底抛光片现行2021-08-302021-09-30
SJ/T 11489-2015低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法现行2015-04-302015-10-01
SJ/T 11490-2015低位错密度砷化镓抛光片蚀坑密度的测量方法现行2015-04-302015-10-01
GB/T 19921-2005硅抛光片表面颗粒测试方法废止2005-09-192006-04-01
DB12/T 101.253-2003工业产品取水定额 砷化镓抛光片废止2003-09-032003-09-03
T/CASAS 054-2025氮化铝抛光片吸收系数测试方法现行2025-05-202025-05-20
T/CASAS 053-2025氮化铝抛光片位错密度的测试 腐蚀坑法现行2025-05-202025-05-20
GB/T 35306-2023硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法现行2023-08-062024-03-01
GB/T 26069-2022硅单晶退火片现行2022-03-092022-10-01
GB/T 12962-2015硅单晶现行2015-12-102017-01-01
GB/T 24581-2022硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法现行2022-03-092022-10-01
GB/T 42263-2022硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法现行2022-12-302023-04-01
GB/T 26071-2018太阳能电池用硅单晶片废止2018-09-172019-06-01
GB/T 1551-2021硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法现行2021-05-212021-12-01
GB/T 42271-2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法现行2022-12-302023-04-01
GB/T 41153-2021碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法现行2021-12-312022-07-01
GB/T 13389-2014掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程现行2014-12-312015-09-01
GB/T 24574-2009硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法现行2009-10-302010-06-01