硅单晶抛光片

Monocrystalline silicon polished wafers

GB/T 12964-2018推荐性国家标准

现行

上传时间:2026-02-09
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GB/T 12964-2018 相似标准 第5页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
T/ZZB 2675-2022TVS用硅单晶研磨片现行2022-04-132022-05-13
T/IAWBS 016-2022碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法现行2022-03-172022-03-24
T/IAWBS 001-2021碳化硅单晶现行2021-09-162021-09-23
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-272019-12-31
T/IAWBS 001-2017碳化硅单晶现行2017-12-202017-12-31
GB/T 47404-2026碳化硅单晶即将实施
JC/T 2796-2023碳化硅单晶用高纯石墨粉现行2023-12-202024-07-01
YS/T 1600-2023碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法现行2023-04-212023-11-01
YS/T 1167-2016硅单晶腐蚀片现行2016-07-112017-01-01
SJ/T 11501-2015碳化硅单晶晶型的测试方法现行2015-04-302015-10-01
SJ/T 11494-2015硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法现行2015-04-302015-10-01
SJ/T 11500-2015碳化硅单晶晶向的测试方法现行2015-04-302015-10-01
GB 47835-2026硅单晶单位产品能源消耗限额即将实施2026-06-272027-01-01
JJF 1760-2019硅单晶电阻率标准样片校准规范现行2019-09-272020-03-27
GB/T 32278-2015碳化硅单晶片平整度测试方法废止2015-12-102017-01-01
GB/T 30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法废止2014-07-242015-02-01
GB/T 30867-2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法废止2014-07-242015-02-01