| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
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| GB/T 30656-2023 | 碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2023-10-01 | 找相似 |
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| GB/T 30868-2014 | 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 | 废止 | 2015-02-01 | 找相似 |
| SJ/T 11502-2015 | 碳化硅单晶抛光片规范 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |