制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy

GB/T 36646-2018推荐性国家标准

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GB/T 36646-2018 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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