| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/IAWBS 010-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| T/ZZB 0648-2018 | 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-10-19 | 2018-11-01 |
| SJ/T 11505-2015 | 蓝宝石单晶抛光片规范 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11503-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 31351-2014 | 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 | 废止 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| SJ/T 11502-2015 | 碳化硅单晶抛光片规范 | 废止 | 2015-04-30 | 2015-10-01 |
| GB/T 47902-2026 | 金刚石单晶抛光片 | 即将实施 | 2026-07-02 | 2027-02-01 |
| GB/T 12964-2003 | 硅单晶抛光片 | 废止 | 2003-06-16 | 2004-01-01 |
| GB/T 30656-2014 | 碳化硅单晶抛光片 | 废止 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| T/IAWBS 010-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| T/IAWBS 012-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法 | 现行 | 2019-12-27 | 2019-12-31 |
| T/ZZB 0648-2018 | 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-10-19 | 2018-11-01 |
| T/IAWBS 005-2018 | 6 英寸碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-12-06 | 2018-12-17 |
| GB/T 6624-2009 | 硅抛光片表面质量目测检验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| GB/T 4058-2009 | 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 | 现行 | 2009-10-30 | 2010-06-01 |
| YS/T 25-1992 | 硅抛光片表面清洗方法 | 现行 | 1992-03-09 | 1993-01-01 |
| GB/T 43313-2023 | 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法 | 现行 | 2023-11-27 | 2024-06-01 |