| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
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| T/GVS 002-2021 | 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求 | 现行 | 2021-06-28 | —— |
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| T/ZZB 0639-2018 | 氧化锌铝磁控溅射靶材 | 现行 | 2018-11-01 | —— |
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