硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法

Test method for warp of silicon wafers—Automated non-contact scanning method

GB/T 32280-2015推荐性国家标准

废止

GB/T 32280-2015 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
T/SSEA 0069-2020棒材弯曲度测量方法现行2020-09-10——
GB/T 26067-2010硅片切口尺寸测试方法现行2011-10-01找相似
GB/T 6621-2009硅片表面平整度测试方法现行2010-06-01找相似
GB/T 6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法现行2010-06-01找相似
GB/T 13388-2009硅片参考面结晶学取向X射线测试方法现行2010-06-01找相似
GB/T 30869-2014太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法现行2015-02-01找相似
GB/T 42789-2023硅片表面光泽度的测试方法现行2024-03-01找相似
GB/T 30860-2014太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法现行2015-04-01找相似
GB/T 19444-2025硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法现行2026-01-01找相似
GB/T 40279-2021硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法现行2022-03-01找相似
GB/T 42789-2023硅片表面光泽度的测试方法(外文版EN)现行——找相似
SJ/T 11628-2016太阳能电池用硅片尺寸及电学表征在线测试方法现行2016-09-01找相似
SJ/T 11627-2016太阳能电池用硅片电阻率在线测试方法现行2016-09-01找相似
SJ/T 11632-2016太阳能电池用硅片微裂纹缺陷的测试方法现行2016-09-01找相似
SJ/T 11630-2016太阳能电池用硅片几何尺寸测试方法现行2016-09-01找相似
SJ/T 11631-2016太阳能电池用硅片外观缺陷测试方法现行2016-09-01找相似
GB/T 24578-2015硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法废止2017-01-01找相似
GB/T 33523.604-2022产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性现行2023-04-01找相似