Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11501-2015 | 碳化硅单晶晶型的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11503-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11500-2015 | 碳化硅单晶晶向的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 31351-2014 | 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 | 废止 | 2015-09-01 | 找相似 |
| SJ/T 11499-2015 | 碳化硅单晶电学性能的测试方法 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11502-2015 | 碳化硅单晶抛光片规范 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 30656-2014 | 碳化硅单晶抛光片 | 废止 | 2015-09-01 | 找相似 |
| T/IAWBS 010-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法 | 现行 | 2019-12-31 | —— |
| T/IAWBS 012-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法 | 现行 | 2019-12-31 | —— |
| T/IAWBS 005-2018 | 6 英寸碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-12-17 | —— |
| T/ZSA 72-2019 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2020-03-01 | —— |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-17 | —— |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法（外文版EN） | 现行 | —— | 找相似 |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-17 | —— |
| GB/T 26071-2018 | 太阳能电池用硅单晶片 | 废止 | 2019-06-01 | 找相似 |
| GB/T 30118-2013 | 声表面波（SAW）器件用单晶晶片规范与测量方法 | 现行 | 2014-05-15 | 找相似 |