Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 2480-2022 | 普通磨料 碳化硅 | 现行 | 2022-10-01 | 找相似 |
| GB/T 21944.2-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第2部分：异形梁 | 现行 | 2023-02-01 | 找相似 |
| GB/T 21944.3-2022 | 碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅窑具 第3部分：辊棒 | 现行 | 2023-02-01 | 找相似 |
| GB/T 32978-2016 | 碳化硅质高温陶瓷过滤元件 | 现行 | 2017-07-01 | 找相似 |
| T/CI 962-2025 | 碳化硅陶瓷基复合材料 | 现行 | 2025-04-15 | —— |
| T/ZJCX 0049-2024 | 碳化硅衬底激光剥离设备 | 现行 | 2024-12-25 | —— |
| T/CASAS 004.2-2018 | 4H碳化硅衬底及外延层缺陷图谱 | 现行 | 2018-11-20 | —— |
| T/CASAS 004.1-2018 | 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语 | 现行 | 2018-11-20 | —— |
| T/SCS 000012-2021 | 碳化硼-碳化硅芯块 微量元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 | 现行 | 2021-06-30 | —— |
| T/SCS 000013-2021 | 碳化硼-碳化硅芯块 无机阴离子（F-、Cl-、Br-、I-）的测定 离子色谱法 | 现行 | 2021-06-01 | —— |
| T/CFA 02020501042-2023 | 铸造熔炼用碳化硅 | 现行 | 2023-06-01 | —— |
| T/SDAMA 010-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体 | 现行 | 2025-05-30 | —— |
| T/CIET 1282-2025 | 反应烧结碳化硅/碳化硼陶瓷板技术要求 | 现行 | 2025-05-14 | —— |
| T/SDAMA 008-2025 | 碳化硅陶瓷晶舟 | 现行 | 2025-03-17 | —— |
| T/CASAS 026-2023 | 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法 | 现行 | 2023-06-19 | —— |
| T/CASAS 025-2023 | 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸 | 现行 | 2023-06-19 | —— |
| T/NXCL 011-2022 | 窑具用碳化硅微粉技术规范 | 现行 | 2022-11-18 | —— |
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