| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| YS/T 14-1991 | 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法 | 废止 | 1992-06-01 | 找相似 |
| GB/T 14142-1993 | 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法 | 废止 | 1993-10-01 | 找相似 |
| T/IAWBS 007-2018 | 4H 碳化硅同质外延层厚度的红外反射测量方法 | 现行 | 2018-12-17 | —— |
| GB/T 14015-1992 | 硅-蓝宝石外延片 | 现行 | 1993-08-01 | 找相似 |
| GB/T 44334-2024 | 埋层硅外延片 | 现行 | 2025-03-01 | 找相似 |
| GB/T 14139-2019 | 硅外延片 | 现行 | 2020-05-01 | 找相似 |
| GB/T 30652-2023 | 硅外延用三氯氢硅 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 43493.1-2023 | 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| GB/T 43885-2024 | 碳化硅外延片 | 现行 | 2024-11-01 | 找相似 |
| SJ/T 11275-2002 | 卧式液相外延系统通用规范 | 现行 | 2003-03-01 | 找相似 |
| GB/T 14141-2009 | 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| YS/T 23-2016 | 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 | 现行 | 2016-09-01 | 找相似 |
| GB/T 35308-2017 | 太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片 | 现行 | 2018-07-01 | 找相似 |
| GB/T 30855-2014 | LED外延芯片用磷化镓衬底 | 现行 | 2015-04-01 | 找相似 |
| GB/T 30856-2025 | LED外延芯片用砷化镓衬底 | 现行 | 2026-02-01 | 找相似 |
| GB/T 37053-2018 | 氮化镓外延片及衬底片通用规范 | 现行 | 2019-07-01 | 找相似 |
| GB/T 36646-2018 | 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 | 现行 | 2019-01-01 | 找相似 |
| GB/T 35310-2017 | 200mm硅外延片 | 现行 | 2018-07-01 | 找相似 |