| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| SJ/T 11275-2002 | 卧式液相外延系统通用规范 | 现行 | 2003-03-01 | 找相似 |
| GB/T 37053-2018 | 氮化镓外延片及衬底片通用规范 | 现行 | 2019-07-01 | 找相似 |
| DB13/T 5118-2019 | 4H 碳化硅 N 型同质外延片通用技术要求 [河北省] | 废止 | 2019-12-28 | 找相似 |
| GB/T 30654-2014 | Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法 | 现行 | 2015-09-01 | 找相似 |
| GB/T 30655-2014 | 氮化物LED外延片内量子效率测试方法 | 现行 | 2015-09-01 | 找相似 |
| GB/T 14015-1992 | 硅-蓝宝石外延片 | 现行 | 1993-08-01 | 找相似 |
| GB/T 44334-2024 | 埋层硅外延片 | 现行 | 2025-03-01 | 找相似 |
| GB/T 8758-2006 | 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 | 现行 | 2006-11-01 | 找相似 |
| GB/T 24575-2009 | 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 30110-2013 | 空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法 | 现行 | 2014-05-15 | 找相似 |
| GB/T 14139-2019 | 硅外延片 | 现行 | 2020-05-01 | 找相似 |
| GB/T 42905-2023 | 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 30652-2023 | 硅外延用三氯氢硅 | 现行 | 2024-03-01 | 找相似 |
| GB/T 43493.1-2023 | 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| GB/T 43493.2-2023 | 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| GB/T 43493.3-2023 | 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第3部分：缺陷的光致发光检测方法 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| GB/T 30653-2014 | Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法 | 现行 | 2015-09-01 | 找相似 |
| GB/T 14142-2017 | 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 | 现行 | 2018-04-01 | 找相似 |