| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 16880-1997 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| GB/T 15394-1994 | 多探针测试台通用技术条件 | 现行 | 1994-12-28 | 1995-08-01 |
| GB/T 37947.4-2024 | 信息技术 用能单位能耗在线监测系统 第4部分：能源品种采集 | 现行 | 2024-07-24 | 2025-02-01 |
| GB/T 43796-2024 | 集成电路封装设备远程运维 数据采集 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| GB/T 44631-2024 | 晶片承载器传输并行接口要求 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-04-01 |
| GB/T 15871-1995 | 硬面光掩模基板 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 15870-1995 | 硬面光掩模用铬薄膜 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 15873-1995 | 半导体设施接口技术文件编写导则 | 现行 | 1995-12-22 | 1996-08-01 |
| GB/T 15862-2012 | 离子注入机通用规范 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-02-15 |
| GB/T 15861-2012 | 离子束蚀刻机通用规范 | 现行 | 2012-11-05 | 2013-02-15 |
| GB/T 16878-1997 | 用于集成电路制造技术的检测图形单元规范 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| GB/T 16879-1997 | 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则 | 现行 | 1997-06-20 | 1998-03-01 |
| SJ/T 11854-2022 | 光伏用直拉单晶炉 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11883-2022 | 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| SJ/T 11451-2022 | 扩散炉能源消耗规范 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |
| GB/T 43725-2024 | 直写成像式曝光设备 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| DB 5307/T 7-2019 | 民族银制品制作工艺流程规范 | 废止 | 2019-11-15 | 2019-11-15 |
| GB/T 44375-2024 | 300mm半导体设备装载端口要求 | 现行 | 2024-08-23 | 2025-03-01 |
| GB/T 43972-2024 | 集成电路封装设备远程运维 状态监测 | 现行 | 2024-04-25 | 2024-11-01 |
| SJ/T 11853-2022 | 正压悬浮区熔单晶硅炉 | 现行 | 2022-10-20 | 2023-01-01 |