| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 28276-2012 | 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范 | 现行 | 2012-12-01 | 找相似 |
| GB/T 32814-2016 | 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 | 现行 | 2017-03-01 | 找相似 |
| GB/T 42897-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 | 现行 | 2023-12-01 | 找相似 |
| GB/T 28855-2012 | 硅基压力传感器 | 现行 | 2013-02-15 | 找相似 |
| GB/T 32815-2016 | 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范 | 现行 | 2017-03-01 | 找相似 |
| GB/T 32816-2016 | 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 | 现行 | 2017-03-01 | 找相似 |
| GB/T 28277-2012 | 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法 | 现行 | 2012-12-01 | 找相似 |
| GB/T 42895-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 | 现行 | 2023-12-01 | 找相似 |
| GB/T 28275-2012 | 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范 | 现行 | 2012-12-01 | 找相似 |
| GB/T 42896-2023 | 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 | 现行 | 2023-12-01 | 找相似 |
| T/CI 512-2024 | 硅基厚金属膜电镀工艺技术规范 | 现行 | 2024-09-18 | —— |
| T/GDEIIA 06-2023 | CF1101型硅基电容器技术规范 | 现行 | 2023-12-18 | —— |
| T/COS 014-2023 | 二氧化硅基气凝胶灭火剂 | 现行 | 2023-04-10 | —— |
| T/HIS 002-2022 | 硅基红外气体传感器 | 现行 | 2022-05-25 | —— |
| T/FSI 051-2020 | 1,2-二（三氯硅基）乙烷 | 现行 | 2020-05-30 | —— |
| T/CSPSTC 25-2019 | 硅基薄膜光伏组件光致衰减测试方法 | 现行 | 2019-11-15 | —— |
| GB/T 48046-2026 | 熔模精密铸造硅基陶瓷型芯 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| T/FSI 051-2020 | 1,2-二（三氯硅基）乙烷 | 现行 | 2020-05-30 | —— |