Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| T/WZSWSSH 003-2018 | 合成蓝宝石 | 现行 | 2018-03-01 | —— |
| DB37/T 2949-2017 | 山东蓝宝石评价规则 [山东省] | 现行 | 2017-05-14 | 找相似 |
| T/WZSWSSH 003-2018 | 合成蓝宝石 | 现行 | 2018-03-01 | —— |
| T/NTAS 008-2020 | 蓝宝石分级检测技术规范 | 现行 | 2021-12-10 | —— |
| T/QGCML 497-2022 | 图形化蓝宝石衬底生产技术规范 | 现行 | 2022-12-16 | —— |
| GB/T 6624-2009 | 硅抛光片表面质量目测检验方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| YS/T 25-1992 | 硅抛光片表面清洗方法 | 现行 | 1993-01-01 | 找相似 |
| HG/T 4079-2009 | 金属抛光表面质量检测及评判规则 | 现行 | 2009-07-01 | 找相似 |
| GB/T 43313-2023 | 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法 | 现行 | 2024-06-01 | 找相似 |
| JC/T 2331-2015 | 陶瓷抛光砖表面用防污剂 | 现行 | 2016-01-01 | 找相似 |
| GB/T 6060.3-2008 | 表面粗糙度比较样块 第3部分：电火花、抛（喷）丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面 | 现行 | 2008-08-01 | 找相似 |
| GB/T 26070-2010 | 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 | 现行 | 2011-10-01 | 找相似 |
| GB/T 19921-2018 | 硅抛光片表面颗粒测试方法 | 现行 | 2019-07-01 | 找相似 |
| T/IAWBS 012-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法 | 现行 | 2019-12-31 | —— |
| T/IAWBS 010-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法 | 现行 | 2019-12-31 | —— |
| SJ/T 11503-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| SJ/T 11504-2015 | 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 19921-2005 | 硅抛光片表面颗粒测试方法 | 废止 | 2006-04-01 | 找相似 |