| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 47080-2026 | 金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法 | 即将实施 | 2026-08-01 | 找相似 |
| GB/T 41325-2022 | 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 | 现行 | 2022-10-01 | 找相似 |
| GB/T 35305-2026 | 太阳能电池用砷化镓单晶及抛光片 | 即将实施 | 2026-08-01 | 找相似 |
| GB/T 29506-2013 | 300mm 硅单晶抛光片 | 现行 | 2014-02-01 | 找相似 |
| GB/T 30858-2025 | 蓝宝石单晶衬底抛光片 | 即将实施 | 2026-05-01 | 找相似 |
| T/NXCL 29-2024 | 300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2024-02-06 | —— |
| T/NXCL 017-2022 | 300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2022-12-02 | —— |
| T/NXCL 016-2022 | 200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2022-12-02 | —— |
| T/ZZB 0648-2018 | 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-11-01 | —— |
| SJ/T 11505-2015 | 蓝宝石单晶抛光片规范 | 现行 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 47902-2026 | 金刚石单晶抛光片 | 即将实施 | 2027-02-01 | 找相似 |
| GB/T 12964-2003 | 硅单晶抛光片 | 废止 | 2004-01-01 | 找相似 |
| T/ZZB 0648-2018 | 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-11-01 | —— |
| GB/T 42271-2022 | 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法 | 现行 | 2023-04-01 | 找相似 |
| GB/T 41153-2021 | 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法 | 现行 | 2022-07-01 | 找相似 |
| GB/T 32278-2025 | 碳化硅单晶片厚度和平整度测试方法 | 现行 | 2026-02-01 | 找相似 |
| SJ/T 11864-2022 | 半绝缘型碳化硅单晶衬底 | 现行 | 2023-01-01 | 找相似 |
| GB/T 10067.417-2023 | 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置 | 现行 | 2023-12-01 | 找相似 |