Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates—Infrared reflectance method
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 36053-2018 | X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告 | 现行 | 2018-03-15 | 2019-02-01 |
| GB/T 30654-2014 | Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法 | 现行 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| GB/T 30655-2014 | 氮化物LED外延片内量子效率测试方法 | 现行 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| GB/T 30653-2014 | Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法 | 现行 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| GB/T 14146-2021 | 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法 | 现行 | 2021-05-21 | 2021-12-01 |
| GB/T 42902-2023 | 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法 | 现行 | 2023-08-06 | 2024-03-01 |
| T/IAWBS 002-2017 | 碳化硅外延片表面缺陷测试方法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| SJ/T 11471-2014 | 发光二极管外延片测试方法 | 现行 | 2014-10-14 | 2015-04-01 |
| T/IAWBS 002-2017 | 碳化硅外延片表面缺陷测试方法 | 现行 | 2017-12-20 | 2017-12-31 |
| GB/T 13389-2014 | 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 | 现行 | 2014-12-31 | 2015-09-01 |
| GB/T 33028-2016 | 松脂中工业盐掺杂物鉴别方法 | 现行 | 2016-10-13 | 2017-05-01 |
| GB/T 43661-2024 | 表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准 | 现行 | 2024-03-15 | 2024-10-01 |
| JC/T 2132-2012 | 钛酸锶钡中掺杂元素和微量元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 | 现行 | 2012-12-28 | 2013-06-01 |
| GB/T 20176-2025 | 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度 | 现行 | 2025-06-30 | 2026-01-01 |
| GB/T 33025-2016 | 松脂掺杂评估方法 | 现行 | 2016-10-13 | 2017-05-01 |
| GB/T 33030-2016 | 松脂中淀粉类掺杂物鉴别方法 | 现行 | 2016-10-13 | 2017-05-01 |
| GB/T 47010-2026 | 铈掺杂钆镓铝石榴石多晶闪烁体阵列 | 即将实施 | 2026-01-28 | 2026-08-01 |
| T/CPIA 0100-2024 | 光伏电池用掺杂层薄层方块电阻的测量方法 | 现行 | 2024-12-15 | 2024-12-30 |