Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 6621-2009 | 硅片表面平整度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
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| GB/T 32280-2022 | 硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法 | 现行 | 2022-10-01 | 找相似 |
| GB/T 24577-2009 | 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
| GB/T 6620-2009 | 硅片翘曲度非接触式测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
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| GB/T 6619-2009 | 硅片弯曲度测试方法 | 现行 | 2010-06-01 | 找相似 |
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