半导体晶片直径测试方法

Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

GB/T 14140-2025推荐性国家标准

现行

GB/T 14140-2025 相似标准 第8页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
T/CASAS 011.1-2021车规级半导体功率器件测试认证规范现行2021-12-01——
T/ZACA 041-2022混合信号半导体器件测试设备现行2022-07-01——
GB/T 48120-2026精细陶瓷 室内照明环境下半导体光催化材料测试用LED光源即将实施2027-03-01找相似
GB/T 13387-2009硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法现行2010-06-01找相似
GB/T 30118-2013声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法现行2014-05-15找相似
YS/T 27-1992晶片表面微粒沾污测量和计数的方法现行1993-01-01找相似
GB/T 34481-2017低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法现行2018-07-01找相似
T/ZSA 38-2020SiC晶片的残余应力检测方法现行2020-12-18——
T/CASAS 013-2021碳化硅晶片位错密度检测方法 KOH腐蚀结合图像识别法现行2021-12-01——
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-31——
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-31——
T/IAWBS 008-2019SiC晶片的残余应力检测方法现行2019-12-31——
SJ/T 11497-2015砷化镓晶片热稳定性的试验方法现行2015-10-01找相似
T/ZSA 38-2020SiC晶片的残余应力检测方法现行2020-12-18——
T/IAWBS 008-2019SiC晶片的残余应力检测方法现行2019-12-31——
T/IAWBS 011-2019导电碳化硅单晶片电阻率测量方法—非接触涡流法现行2019-12-31——
T/IAWBS 013-2019半绝缘碳化硅单晶片电阻率非接触测量方法现行2019-12-31——
T/IAWBS 021-2024碳化硅晶片边缘轮廓检验方法现行2024-04-09——