半导体器件 微电子机械器件 第21部分:MEMS薄膜材料泊松比测试方法

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 21: Test method for Poisson\'s ratio of thin film MEMS materials

GB/T 42709.21-2026推荐性国家标准

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更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
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GB/T 13062-2018半导体器件 集成电路 第21-1部分:膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用鉴定批准程序)现行2019-07-01找相似
GB/T 41853-2022半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量现行2022-10-12找相似
GB/T 43035-2023半导体器件 集成电路 第20部分:膜集成电路和混合膜集成电路总规范 第一篇:内部目检要求现行2023-09-07找相似
GB/T 11498-2018半导体器件 集成电路 第21部分:膜集成电路和混合膜集成电路分规范(采用鉴定批准程序)现行2019-07-01找相似
GB/T 41852-2022半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法现行2022-10-12找相似
GB/T 20870.10-2023半导体器件 第16-10部分:单片微波集成电路技术可接收程序现行2024-01-01找相似
GB/T 20870.4-2024半导体器件 第16-4部分:微波集成电路 开关现行2024-10-26找相似
JB 5781-1991电力半导体器件用型材散热器 技术条件现行1992-10-01找相似
GB/T 8446.3-2022电力半导体器件用散热器 第3部分:绝缘件和紧固件现行2022-10-01找相似
GB/T 45722-2025半导体器件 恒流电迁移试验现行2025-09-01找相似
GB/T 4023-2015半导体器件 分立器件和集成电路 第2部分:整流二极管现行2017-01-01找相似
GB/T 45716-2025半导体器件 金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFETs)的偏置温度不稳定性试验现行2025-09-01找相似
GB/T 15291-2015半导体器件 第6部分:晶闸管现行2017-01-01找相似
GB/T 45721.1-2025半导体器件 应力迁移试验 第1部分:铜应力迁移试验现行2025-09-01找相似
GB/T 45718-2025半导体器件 内部金属层间的时间相关介电击穿(TDDB)试验现行2025-09-01找相似
GB/T 45720-2025半导体器件 栅介质层的时间相关介电击穿(TDDB)试验现行2025-09-01找相似
GB/T 32817-2016半导体器件 微机电器件 MEMS总规范现行2017-03-01找相似