Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 实施日期 | 相似标准 |
|---|---|---|---|---|
| T/CASAS 036-2025 | 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法 | 现行 | 2025-04-23 | —— |
| T/IAWBS 001-2021 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2021-09-23 | —— |
| T/IAWBS 010-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法 | 现行 | 2019-12-31 | —— |
| T/IAWBS 001-2017 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2017-12-31 | —— |
| GB/T 47404-2026 | 碳化硅单晶 | 即将实施 | —— | 找相似 |
| JC/T 2796-2023 | 碳化硅单晶用高纯石墨粉 | 现行 | 2024-07-01 | 找相似 |
| YS/T 1600-2023 | 碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 | 现行 | 2023-11-01 | 找相似 |
| GB/T 31351-2014 | 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 | 废止 | 2015-09-01 | 找相似 |
| SJ/T 11502-2015 | 碳化硅单晶抛光片规范 | 废止 | 2015-10-01 | 找相似 |
| GB/T 30656-2014 | 碳化硅单晶抛光片 | 废止 | 2015-09-01 | 找相似 |
| T/IAWBS 010-2019 | 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法 | 现行 | 2019-12-31 | —— |
| T/IAWBS 005-2018 | 6 英寸碳化硅单晶抛光片 | 现行 | 2018-12-17 | —— |
| T/ZSA 72-2019 | 碳化硅单晶 | 现行 | 2020-03-01 | —— |
| T/ZSA 231-2024 | 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 | 现行 | 2024-05-16 | —— |
| T/IAWBS 015-2021 | 氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 | 现行 | 2021-09-22 | —— |
| GB/T 26071-2018 | 太阳能电池用硅单晶片 | 废止 | 2019-06-01 | 找相似 |
| GB/T 30118-2013 | 声表面波（SAW）器件用单晶晶片规范与测量方法 | 现行 | 2014-05-15 | 找相似 |
| GB/T 5238-2019 | 锗单晶和锗单晶片 | 现行 | 2020-05-01 | 找相似 |